Arbeitsumgebung: Vakuum/inerte Atmosphäre (Ar/N₂), Hochvakuum von 10⁻³~10⁻⁶ Pa, ultrahohe Temperatur von 1800–2600 Grad.
Kernfunktionen: Feste Graphitheizplatte im Ofen, Isolierschicht aus Graphitfilz, Materialwanne, Elektroden, Werkzeugvorrichtungen; oder als Übertragungsschraube (Trapezgewinde) zum Heißpressen, Heben und zur Verschiebungseinstellung verwendet; Ersetzen von Metallschrauben, um Probleme wie Hochtemperaturkriechen des Metalls, Kaltschweißen, Verschmutzung durch Gasemissionen und Oxidationsversagen zu lösen.
Allgemeine Spezifikationen: M3–M24, nicht-standardmäßiger Durchmesser/Länge; Gewinde sind dreieckige Zähne (Befestigung) und trapezförmige Zähne (Übertragung); Ausgestattet mit Graphitmuttern und Graphitdichtungen.
Hohes Vakuum mit geringer Gasleckage, hochreine Umgebung ohne Umweltverschmutzung (wesentlich für Halbleiter / Photovoltaik)
Der Gehalt an festem Kohlenstoff in den Rohstoffen beträgt mindestens 99,95 % und der Gehalt an Verunreinigungen ist äußerst gering. Die Vakuumleckrate beträgt höchstens 10−8 Pa⋅m3/(m2⋅s), womit die Anforderungen des Ultrahochvakuumprozesses von 10−6 Pa erfüllt werden können.
In einer Hochtemperatur- und Vakuumumgebung setzen Metallschrauben Metalldampf, restliche Ölflecken und Verunreinigungsgase frei, die an den Oberflächen von Siliziumwafern, Wafern, Hartlegierungen und Präzisionswerkstücken haften und direkt zur Verschrottung der Produkte führen.
Graphit weist keine Metallausfällung oder flüchtige Substanzen auf. Der gesamte Prozess sorgt für die Sauberkeit des Ofens und gewährleistet die Reinheit und das Erscheinungsbild hochwertiger Produkte von der Quelle.
3. Von Natur aus selbst-schmierend, bleibt in einer Vakuumumgebung nie hängen und erfordert kein Schmieröl.
Unter Hochtemperatur-Vakuumbedingungen sind Schmieröle und -fette (die verkohlen, Gas freisetzen und die Ofenkammer verunreinigen) verboten. Dies ist der größte Schwachpunkt bei Metallbefestigungen:
Wenn die Metallgewinde nicht geschmiert sind, neigen sie dazu, bei hohen Temperaturen kalt zu verschweißen und miteinander zu verkleben, was eine spätere Demontage unmöglich macht. Es kann nur mit Gewalt zerlegt werden, wodurch die inneren Komponenten des Ofens beschädigt werden.
Graphit hat die natürliche, geschichtete, selbst-schmierende Eigenschaft. Durch die Verwendung von Graphitschrauben mit Graphitmuttern verläuft der Rotations- und Demontagevorgang durchgehend reibungslos. Es bleibt auch nach längerem -Zeitgebrauch nicht hängen, was die Schwierigkeit der Gerätewartung und Ausfallzeiten erheblich reduziert.
Kernvorteil
Hervorragende Materialleistung
Durch die Verwendung von hochreinem Graphit als Grundmaterial und in Kombination mit der Niedertemperatur-Sintertechnologie können die Schrauben ihre strukturelle Stabilität bei einer Temperatur von 2500 Grad aufrechterhalten und so das Risiko von thermischen Spannungsrissen beseitigen.
Hervorragende Wärmeleitfähigkeit
Die Oberfläche ist mit einer Nano--Beschichtung versehen, die die Wärmeleitfähigkeit deutlich erhöht und das Risiko einer lokalen Überhitzung verringert, die Gleichmäßigkeit der Temperatur im Vakuumofen gewährleistet und die Prozessstabilität verbessert.
Individualisierung und Anpassung
Jin Cheng Graphite bietet einen vollständigen Prozessservice vom Design bis zur Produktion und unterstützt die Anpassung von Schraubengrößen, Gewindespezifikationen und Dichtungsschlitzstrukturen gemäß den Kundenanforderungen sowie die Anpassung an die gängige Vakuumofenausrüstung weltweit.
Der wichtigste Vorteil
Äußerst beständig gegen hohe Temperaturen, beständig gegen Temperaturschocks und kein Kriechen bei hohen Temperaturen (der Hauptvorteil).
In inerten Atmosphären wie Vakuum, Stickstoff und Argon kann es lange Zeit kontinuierlich bei 2200 Grad betrieben werden und kurzfristig ultrahohen Temperaturen von bis zu 2600 Grad standhalten.
Die maximale Betriebstemperatur gewöhnlicher Edelstahlschrauben beträgt nur 600 bis 800 Grad. Selbst bei Hochtemperaturlegierungen dürfen sie für längere Zeit 1400 Grad nicht überschreiten. Bei Überhitzung erweichen sie schnell, dehnen sich und unterliegen einer Kriechverformung, was zu losen Fäden und Brüchen führt.
Graphit hingegen behält seine mechanische Festigkeit auch bei hohen Temperaturen und weist einen äußerst niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten (Grad) auf. Es hält dem Thermoschock stand, der durch wiederholte Temperaturänderungen des Ofenkörpers, einschließlich schnellem Erhitzen und Abkühlen, verursacht wird, ohne dass es zu Änderungen der Gewindegröße, Rissen oder Verformungen kommt. Es eignet sich für kontinuierliche Produktionsbedingungen rund um die Uhr.
Technische Spezifikationen
| Artikel | Graphitschraube | Schraube aus Edelstahl/Superlegierung |
|---|---|---|
| Max. Kontinuierliche Temp. | 2200 Grad (Vakuum/Inertgas) | Weniger als oder gleich 800 Grad (Edelstahl) / Weniger als oder gleich 1400 Grad (Superlegierung) |
| Thermisches Kriechen | Keine Verformung | Leicht zu verformen und Fadenrutschen |
| Ausgasung | Geringe Ausgasung, keine Kontamination | Metalldampfabgabe, leicht zu verschmutzende Werkstücke |
| Fadenfresser | Anti--Seize, leicht zu warten | Einfaches Kaltschweißen und Festfressen ohne Schmiermittel |
| Anwendung | Vakuumofen, Sinterofen, PV- und Halbleiterausrüstung | Geräte für mittlere und niedrige Temperaturen in atmosphärischer Umgebung |
Branchenanwendungen
Hohe chemische Stabilität, korrosionsbeständig, keine Verunreinigungen
Extrem chemisch inert sowohl bei Raumtemperatur als auch bei hohen Temperaturen, beständig gegen Säuren, Laugen, Wasserstoff, Ammoniak und verschiedene Prozessatmosphären in Öfen; Reagiert nicht chemisch mit geschmolzenen Metallen, Keramikpulvern, Hartlegierungen oder permanentmagnetischen Materialien, karbonisiert oder metallisiert das Werkstück nicht und gewährleistet so die Stabilität der Zusammensetzung gesinterter und wärmebehandelter Produkte.
5. Leicht und hochfest, mit leitenden und wärmeleitenden Funktionen
Die Dichte beträgt nur 1,75–1,90 g/cm3 und ist damit viel niedriger als bei Edelstahl (7,9 g/cm3) und Hochtemperaturlegierungen:
Das Gewicht wurde erheblich reduziert, wodurch die Gesamtbelastung des Materialgestells, der Isolierkomponenten und der Heizelemente im Ofen verringert und die Verformung des Geräterahmens minimiert wird.
Es zeichnet sich durch eine hervorragende elektrische und thermische Leitfähigkeit aus und dient nicht nur als grundlegendes Befestigungselement, sondern auch als leitfähiges Verbindungsstück und Wärmeverteilungszubehör und erfüllt mehrere Funktionen mit einem einzigen Bauteil.
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