Maßgeschneiderte-Graphit-Isolierringe und Strömungsführungsringe für Hochtemperatur-Vakuumöfen sind wichtige Präzisionskomponenten des thermischen Kernsystems in High-End-Bereichen wie Photovoltaik, Halbleiter und Herstellung von kristallinem Silizium. Sie wurden speziell entwickelt, um die strengen Anforderungen japanischer und koreanischer Hersteller von Photovoltaik- und Halbleitergeräten an höchste Genauigkeit der Temperaturregelung, eine hochreine, saubere Umgebung und einen effizienten gerichteten Wärmefluss zu erfüllen.
Dieses Produkt besteht aus ultra-hoch-reinem isostatischem Graphit mit einer Reinheit von über 99,99 %. Es wird mit Fünf-Achsen-CNC-Technologie bearbeitet, um eine kundenspezifische Präzision im Mikrometerbereich zu erreichen, und ist für Vakuumbedingungen bei extrem hohen Temperaturen von 1.600 bis 2.000 Grad geeignet. Es wird häufig in Kerngeräten wie CZ-Einkristallöfen, Öfen für polykristalline Siliziumbarren, Zonenschmelzöfen für Silizium-Einkristalle und fortschrittlichen Keramiksinteröfen eingesetzt.
Kernpunkte des Kernvorbereitungsprozesses
Rohstoffauswahl: Die Kernkomponenten werden aus isostatischem Graphit mit einer ultrahohen Reinheit von über 99,99 % hergestellt. Isostatischer Graphit weist in allen Richtungen hervorragende physikalische und mechanische Eigenschaften auf und gewährleistet die strukturelle Stabilität und Maßhaltigkeit der Ringteile bei hohen Temperaturen und komplexen thermischen Belastungen. Für einige spezielle Anwendungen kann Kerngraphit mit einer Reinheit von 99,995 % oder sogar 99,999 % verwendet werden.
Wärmedämmring
Im thermischen Feldsystem des Vakuumofens nutzt der Graphit-Wärmeisolationsring seine geringe Wärmeleitfähigkeit (bei hohen Temperaturen ist die Wärmeleitfähigkeit von Graphit viel geringer als die von Metallen) und sein hohes Reflexionsvermögen (die speziell behandelte Oberfläche von Graphit kann den größten Teil der Infrarot-Wärmestrahlung reflektieren) aus, wodurch die Wärmeübertragung von der Hochtemperaturzone zur Niedertemperaturzone wirksam blockiert wird, wodurch ein stabiler und kontrollierbarer axialer Temperaturgradient innerhalb des Ofens entsteht. Dies ist für das Kristallwachstum (z. B. einkristallines Silizium) von entscheidender Bedeutung, da ein stabiler Temperaturgradient der Schlüssel zur Gewährleistung der Kristallqualität und Wachstumsrate ist.
Strömungsführungsring: Der Strömungsführungsring aus Graphit leitet das Schutzgas (z. B. Argon) durch seine präzise gestalteten Strömungskanäle oder Schaufelstrukturen so, dass es im Ofen entlang einer bestimmten Bahn strömt. Dieser gerichtete Fluss kann die Wärmefeldverteilung optimieren und eine gleichmäßigere Wärmeübertragung auf die Materialien ermöglichen; Gleichzeitig kann das strömende Gas auch Verunreinigungen und flüchtige Substanzen entfernen, die während des Kristallwachstums entstehen, wodurch die Reinheit und Qualität des Endprodukts (z. B. ein-kristalline Siliziumbarren) verbessert wird.
Strömungsleitring
Der Graphit-Strömungsführungsring leitet das Schutzgas (z. B. Argon) durch seine präzise gestalteten Strömungskanäle oder Schaufelstrukturen so, dass es im Ofen entlang einer bestimmten Bahn strömt. Dieser gerichtete Fluss kann die Wärmefeldverteilung optimieren und eine gleichmäßigere Wärmeübertragung auf die Materialien ermöglichen; Gleichzeitig kann das strömende Gas auch Verunreinigungen und flüchtige Substanzen entfernen, die während des Kristallwachstums entstehen, wodurch die Reinheit und Qualität des Endprodukts (z. B. ein-kristalline Siliziumbarren) verbessert wird.
Warum sollten Sie sich für uns entscheiden?
1. Wir produzieren den selbst-unter Druck stehenden Graphit im eigenen Haus und sorgen so für stabile und kontrollierbare Materialeigenschaften.
2. Ausgereifte, maßgeschneiderte Design- und Verarbeitungsmöglichkeiten, die sich genau an das Heizsystem des Kunden anpassen
3. Um die Qualität und Zuverlässigkeit der Produkte zu gewährleisten, gibt es ein strenges Qualitätskontrollsystem.
4. Schnelle Reaktion und Lieferung, um den F&E- und Massenproduktionsanforderungen der Kunden gerecht zu werden
5. Exklusives technisches Team im Ausland, lokaler Service und Support
| Parameter | Einheit | Graphit-Isolierring (Modell: GIR-9999) | Graphit-Strömungsführungsring (Modell: GFR-9999) | Integrierter Ring (Modell: GIRF-99995) | Testmethode |
|---|---|---|---|---|---|
| Grundlegende Eigenschaften | |||||
| Kohlenstoffgehalt | % | Größer oder gleich 99,99 | Größer oder gleich 99,99 | Größer oder gleich 99,995 | GB/T 3521-2008 |
| Aschegehalt | ppm | Kleiner oder gleich 50 | Kleiner oder gleich 50 | Kleiner oder gleich 30 | ICP-MS-Erkennung |
| Dichte | g/cm³ | 1.85-1.90 | 1.85-1.90 | 1.88-1.93 | Archimedes-Methode |
| Porosität | % | Kleiner oder gleich 10 | Kleiner oder gleich 10 | Kleiner oder gleich 8 | Eindringen von Quecksilber |
| Thermische Eigenschaften | |||||
| Maximale Betriebstemperatur | Grad | 2000 | 2000 | 2200 | Thermische Analyse |
| Wärmeleitfähigkeit (bei 1000 Grad) | W/(m·K) | 80-120 | 80-120 | 90-130 | Laser-Flash-Methode |
| Wärmeausdehnungskoeffizient (25–1000 Grad) | 10⁻⁶/ Grad | 2.5-3.0 | 2.5-3.0 | 2.4-2.8 | Dilatometer |
| Thermoschockbeständigkeit (RT ↔ 1500 Grad) | Zyklen | Größer oder gleich 50 | Größer oder gleich 50 | Größer oder gleich 60 | Abwechselnder Kalt- und Heißtest |
| Mechanische Eigenschaften | |||||
| Biegefestigkeit (bei 25 Grad) | MPa | Größer oder gleich 40 | Größer oder gleich 40 | Größer oder gleich 45 | Drei-{0}}Punktbiegung |
| Druckfestigkeit (bei 25 Grad) | MPa | Größer oder gleich 120 | Größer oder gleich 120 | Größer oder gleich 130 | Uniaxiale Kompression |
| Shore-Härte | - | 60-70 | 60-70 | 65-75 | Shore-D-Härteprüfer |
| Maßangaben | |||||
| Typischer Größenbereich (ID×AD×H) | mm | Anpassbar (z. B. 200×300×50) | Anpassbar (z. B. 150×250×40) | Anpassbar (z. B. 250×350×60) | Koordinatenmessgerät |
| Maßtoleranz | mm | ±0.02 | ±0.02 | ±0.01 | Koordinatenmessgerät |
| Oberflächenrauheit (Ra) | μm | Kleiner oder gleich 0,8 | Kleiner oder gleich 0,8 | Kleiner oder gleich 0,6 | Profilometer |
| Betriebsleistung | |||||
| Temperaturgleichmäßigkeit | Grad | Kleiner oder gleich ±3 | Kleiner oder gleich ±3 | Kleiner oder gleich ±2 | Thermoelementmessung |
| Geschätzte Lebensdauer | Zyklen | Größer oder gleich 500 | Größer oder gleich 500 | Größer oder gleich 600 | Industrieller Feldtest |
| Verpackung | |||||
| Standardverpackung | Stück/Karton | 1 | 1 | 1 | - |
| Verpackungsmaterial | - | Vakuumbeutel + stoßfester Schaumstoff + Holzetui | Vakuumbeutel + stoßfester Schaumstoff + Holzetui | Vakuumbeutel + stoßfester Schaumstoff + Holzetui | - |
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